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臺式掃描電鏡 ZEM20是澤攸科技ZEM系列中的一款高性價比臺式掃描電子顯微鏡（SEM），采用預對中鎢燈絲電子源與真空分隔技術(shù)，兼具高分辨率成像與快速操作體驗。其緊湊設(shè)計、超大樣品倉及智能化操作界面，適配材料科學、電子制造、生物醫(yī)學等領(lǐng)域的微納結(jié)構(gòu)表征需求，尤其適合實驗室與工業(yè)現(xiàn)場的高效檢測場景。
核心特點
優(yōu)秀成像性能
高分辨率：4nm@20kV，最大放大倍數(shù)36萬倍，清晰呈現(xiàn)納米級表面形貌（如金屬顆粒、碳納米管）。
雙真空模式：標配高真空，可選配低真空（1-60Pa），支持非導電樣品免噴金觀察。
高效操作與快速換樣
真空分隔設(shè)計：電子槍與樣品倉獨立真空，換樣時間＜1分鐘（最快30秒），提升檢測效率。
全鼠標操控：一體式聚光鏡設(shè)計，無需手動調(diào)節(jié)光闌，簡化操作流程。
靈活擴展與智能監(jiān)測
多軸樣品臺：標配三軸移動，可選五軸臺適配復雜樣品定位與原位實驗。
倉內(nèi)攝像頭：實時監(jiān)測樣品動態(tài)變化，支持原位加熱、拉伸等拓展功能。
多探測器兼容：標配SE/BSE探測器，可選配EDS能譜分析，實現(xiàn)成分與形貌聯(lián)動檢測。
工業(yè)級適配性
超大樣品倉：兼容塊狀、粉末及薄膜樣品，支持大尺寸工業(yè)件（如電路板、涂層試片）直接觀測。
減速模式選配：弱導電樣品無需預處理，降低檢測成本與時間。
參數(shù)摘要
| 關(guān)鍵指標 | 參數(shù)詳情 |
|---|---|
| 分辨率 | ≤4 nm（20kV加速電壓） |
| 放大倍數(shù) | 20×至360,000× |
| 加速電壓 | 最大20 kV |
| 燈絲類型 | 預對中鎢燈絲 |
| 樣品臺 | 三軸標配，五軸選配 |
| 真空模式 | 高真空（標配），低真空（選配） |
| 探測器 | SE、BSE（標配），EDS（選配） |
應用領(lǐng)域
材料科學：納米材料形貌分析（如碳納米管、金屬顆粒）、涂層/鍍層均勻性檢測。
電子制造：PCB板缺陷檢測、半導體器件微觀結(jié)構(gòu)觀測。
生物醫(yī)學：生物組織表面形貌研究、藥物載體顆粒分析。
工業(yè)質(zhì)檢：合金相結(jié)構(gòu)觀察、復合材料界面表征。
科研教育：高校實驗教學、跨學科微納尺度研究。
臺式掃描電鏡 優(yōu)勢總結(jié)
高效便捷：真空分隔技術(shù)+全鼠標操作，大幅提升檢測效率。
靈活拓展：支持EDS、原位臺等多模塊擴展，滿足進階分析需求。
廣泛適配：低真空模式與超大樣品倉，覆蓋導電/非導電、大尺寸樣品檢測。
